利用催化劑(ji)使有(you)害氣體中的可燃組分在較低的溫(wen)度下氧(yang)化分解的淨(jing)化方法。對於 CnHm 和有(you)機溶(rong)濟(ji)蒸汽氧(yang)化分解生成CO₂和H₂O並釋放出大(da)量熱量。該裝置主(zhu)體結構(gou)由(you)淨(jing)化裝置主(zhu)機、引風機、控(kong)製係統(tong)三大(da)部分組成。其裝置包括：阻火除塵器、熱交換器、預熱器、催化燃燒室。

活(huo)性炭(tan)脫(tuo)附出來的高濃(nong)度、小風量、高溫(wen)度的有(you)機廢氣經阻火除塵器過濾(lv)後，進入特(te)製的板(ban)式熱交換器和催化反應後的高溫(wen)氣體進行能量間接交換，此時(shi)廢氣源的溫(wen)度得到第一次(ci)提升(sheng)；具有(you)一定溫(wen)度的氣體進入預熱器，進行第二次(ci)的溫(wen)度提升(sheng)；之後進入第一級催化反應，此時(shi)有(you)機廢氣在低溫(wen)下部份分解，並釋放出能量，對廢氣源進行直(zhi)接加熱，將氣體溫(wen)度提高到催化反應的最佳(jia)溫(wen)度；經溫(wen)度檢測係統(tong)檢測，溫(wen)度符合催化反應的溫(wen)度要求，進入催化燃燒室，將有(you)機氣體徹底分解，同(tong)時(shi)釋放出大(da)量的熱量；淨(jing)化後的氣體通過熱交換器將熱能轉換給出冷氣流(liu)，降(jiang)溫(wen)後氣體由(you)引風機排空。